待镀膜滤光片基片温度对滤光片的膜层有什么的影响?

2020/07/25 NMOT 24

待镀膜滤光片基片温度对滤光片的膜层有什么的影响?

待镀膜滤光片基片温度是影响滤光片膜层生长的重要条件之一。待镀膜滤光片基片温度对滤光片膜层原子或分子提供额外能量补充,主要影响

滤光片膜层结构、凝集系数、膨胀系数、聚集密度。宏观反映在滤光片膜层折射率散射、应力附着力、硬度和不溶性都会因基片温度的不同而有较大差异。

(2)高温度对待镀膜滤光片基片温度的优点

①将吸附在基片表面的剩余气体分子排除,增加滤光片基片与沉积分子之间的结合力;

②促使滤光片膜层物理吸附向化学吸附转化,增强分子之间相互作用,使滤光片膜层紧密,附着力增大,提高了机械强度;

③减少蒸气分子再结晶温度与基片温度之间的差异提高了膜层密集度,增加了滤光片膜层硬度,消除内应力。

那么温度过髙有那些弊端呢?

如果镀膜的时候温度过高会使滤光片膜层结构变化或膜料分解从而导致滤光片产品质量不达标。

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